UniDRON-APCRS

型号：UniDRON-APCRS
应用材料：Si Sic GaN GaAs InP LiTaO³ LiNbO³ 等
应用市场：
晶锭切片、晶圆切割、研磨、化学机械抛光(CMP)、外延生长、薄膜沉积、蚀刻、离子注入、退火
功能

                                                 材料结构变化                                                                              晶圆特定层浓度 

                                       晶圆切割制程 (谱峰位置分布)                                                 晶体管结构制程 、多层硅锗合金浓度、

                              (化学键断裂分解为Si和C) (高温析出过量Si和C）                                         (谱峰强度分布) (谱峰位移分布)