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SiC-300A |
| 发布者：上海景鸿科谱光电科技有限公司 发布时间：2025-07-18 14:22:38 点击次数：170 关闭 |
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显微共轭焦拉曼检测设备 适用材料：Si Sic GaN GaAs InP LiTaO³ LiNbO³ 等
兼容尺寸： 6寸-12寸晶圆或晶锭
具备非破坏深层应力分布检测、原子级制程残留物分析、掺杂浓度分析（Al Mg SIGe）。
单台拉曼光谱检测设备集成XRD的应力分析+SIMS的离子检测+FTIR的有机物分析功能
 
氧空位对比测试 应力分布图
SIC-300A 功能:此设备由人工上下料，检测晶锭（晶棒）或Wafer深层应力分布、微观瑕疵、晶格缺陷等问题。
运用技术:激光激发、共轭焦显微、光谱采集、荧光过滤、数据处理、谱峰解析、物理量计算、成像映射、数据验证
亮点：无损快速精准测量表层 中层 深层应力分布，并可输出三维立体应力分布分析报告。整片Wafer或晶锭（晶棒），Mapping900点<20分钟。
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