UniDRON-Semi

型号：UniDRON-Semi
应用材料：Si Sic GaN GaAs InP LiTaO3  LiNbO3 等
应用市场：晶锭切片、晶圆切割、研磨、化学机械抛光 (CMP)、外延生长、薄膜沉积、蚀刻、离子注入、退火

                                           多层Si Ge浓度分析                                                                                材料成分定性

   UniDRON-Semi功能：晶圆深层应力检测、 晶格类型解析/缺陷细析 、晶圆掺杂浓度 、材料成分定性鉴别 、材料结构变迁洞察。