显微共轭焦拉曼检测设备

显微共轭焦拉曼检测设备

主要功能：半导体材料SI SIC等
兼容尺寸： 6寸-12寸晶圆或晶锭
单台拉曼光谱检测设备集成XRD的应力分析+SIMS的离子检测+FTIR的有机物分析功能
具备非破坏深层应力分布检测、制程残留物分析、掺杂浓度分析。