顯微共軛焦拉曼檢測設備

顯微共軛焦拉曼檢測設備

主要功能：半導體材料SI SIC等

相容尺寸： 6寸-12寸晶圓或晶錠

單臺拉曼光譜檢測設備集成XRD的應力分析+SIMS的離子檢測+FTIR的有機物分析功能

具備非破壞深層應力分佈檢測、制程殘留物分析、摻雜濃度分析。

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